填補國內空白，南京這（zhè）家（jiā）企業用“細致活”助力精密加工

光刻（kè）機是芯片消費的中心（xīn）設備，光刻機用的光學石（shí）英玻璃及元器件被譽為“光刻之肺”，是光刻機中必不可少的部件。

在嘉定區（qū）外岡鎮，一家成立於2018年的（de）年輕企業——晶智（上海）光學儀器設備有限公司經過（guò）持續自主研發（fā）和創新開辟，不時比照調整、重複迭代，最終樹立起具（jù）有完整自主學問產權的應力處（chù）置模型和工藝數（shù）據庫，並運用獨有（yǒu）的低溫（wēn）氫摻雜技術和基於環拋、離子束等多形（xíng）式組合加工工藝，完成光（guāng）刻石英玻璃元器件的（de）超精細、超潤滑（huá）加工，這進一步（bù）減（jiǎn）少了國內（nèi）與國（guó）外的技（jì）術差（chà）距，突破了半導體光刻機（jī）用光學石英玻璃元部件（jiàn）主要依賴進口的現狀。

日前，在晶智（zhì）的消費車間內，多台超高精度數控加工中心與數控拋（pāo）光設（shè）備正滿負荷運作，操作人員站在一旁親密關（guān）注著設備的運（yùn）轉狀況。企業（yè）相關擔任人秦宇（yǔ）洋（yáng）通知（zhī）記者，正在加工的是用於光刻機的超精細光刻吸盤，也（yě）是公司產品目前（qián）可（kě）以到達的最高精度級別。據引見（jiàn），研發人員將（jiāng）經典拋光、高速拋光和離子束（shù）拋光等工藝停止了（le）優化組合，消費出的這批超精細光學元部件（jiàn）的粗糙度低於0.25納米，能極大進步光刻成像質量。秦宇洋（yáng）說了一個很直觀的比喻：假如把這（zhè）個元部件放大至（zhì）整個嘉定區大小，其平（píng）麵內最高與（yǔ）最低處尺寸誤差（chà）也不超越1毫米。

“光刻機對曝光載台精度的請求（qiú）十分高，需求準確到納米級別，位移載台精度一旦呈現問題，製造的（de）芯（xīn）片就不能用。”秦宇洋（yáng）一邊說，一邊拿（ná）出了一塊直徑約30厘米、厚度約4厘米的超精細光刻吸盤廢品，上麵排布著上百個小圓孔和數道（dào）牙簽粗細的（de）凹槽。這看似簡單的結構，其中凝結著多年的技術沉澱和不時的技術（shù）改造 。

以前，秦宇洋就（jiù）職於一家德國企業駐中國辦事處，特地擔任向國內企業供給光學石英玻璃。“國外（wài）公司的業務流程普通是客戶提出訂貨需求，他（tā）們接單後開端消費，收貨（huò）周期在6個月左右。這樣一來，客戶的時間本錢增（zēng）加，項目進度受影響，同（tóng）時由於國內加工工藝受限，企業的消費本錢也不斷居高不（bú）下。”秦宇洋說，為了縮短交貨時間、降（jiàng）低交貨風（fēng）險，2018年 ，他和幾（jǐ）位合夥人一（yī）同創建了晶智（zhì）公（gōng）司。起初，他們（men）隻是對（duì）國外（wài）進口的原資料停止粗加工之後供給給客戶，隨著企業在光刻機用高平均性石英資料（liào）上的研發才能和加（jiā）工工藝不時提升，他們逐漸（jiàn）開端為下遊光（guāng）刻（kè）企業提供高精細元器（qì）件的“定（dìng）製效勞”。

如何打破（pò）常規的製造工藝？秦宇洋率領（lǐng）團隊設計工裝模具，改造加工設備，對工藝參數不時停止總結。“我們用了近2年時間，終於完成了（le）加工光（guāng）學元件外表粗糙度低於1.25納米，但此（cǐ）前不斷停（tíng）留在研發階段。”秦宇洋引見。桌麵上這款最新款的超（chāo）精細光（guāng）刻吸盤，正是從實驗數據走向（xiàng）產品量產（chǎn）的一大（dà）步。“可別小看這一塊（kuài）吸盤，上麵的孔大了漏氣，小了吸力不夠，最終廢品既要保證吸（xī）得住矽片，又要不產生（shēng）絲毫（háo）磨損，前後實（shí）驗了（le）六批產品，才將應力處置模型、工藝數（shù）據和實踐消費圓滿分離，將呈現問題的概率降至最低。”記者理解到，公司首批上線的8件資料，經過2周的（de）工期後，下線時卻隻勝利了1件，其他（tā）7塊全部報廢，這可急壞了研（yán）發（fā）團隊。要曉得，每塊原資料的價錢從幾萬到幾十萬不等，宏大的試錯本錢（qián）給團隊帶來了不少壓力。經（jīng）過研發團隊和操作（zuò）人員重複複盤、梳理、總結，最終在第六批產品下線時（shí）完成了零破損。   

除了加工精度不時提升外，怎樣降低資料（liào）加工和運用過程中崩（bēng）裂的風險，企業（yè）也有“獨門秘籍”。記者在現場看到，每塊原資料在完成第一道工序——切割後（hòu），都（dōu）會浸泡（pào）在一種特（tè）製的緩衝溶液中，經（jīng）過重（chóng）複處置再送上（shàng）精加工（gōng）工作台。秦宇洋說（shuō）：“光學玻璃是脆性資料，粗加工後邊緣會呈現肉眼不可見的裂痕，假如聽任不論，就會（huì）增加精加工時的崩裂風險。”針對這樣的問題，研發團隊自主研發了納米粘（zhān）結（jié）劑，這種粘結劑（jì）既要能很好地浸透進裂痕，又要具備強勁的拉力，足（zú）以牢牢“扯住”裂痕，阻止玻璃裂痕繼續生長，保（bǎo）證玻璃精（jīng）加工時堅持（chí）穩（wěn）定、不碎裂。“目（mù）前國內可以做到這個（gè）水平的，隻要我們一（yī）家。”秦宇洋驕傲地說。

據悉，晶智公司目前可以完成高精細石英資料的去應力處置，應力雙折（shé）射小於2納米/厘米，產品已逐漸完成量（liàng）產，遭到不少科研單位的喜愛。2022年，晶（jīng）智公司年產值達（dá）3億元，和2021年相比翻了一番。