隨著科學技術（shù）的日益進步，超精（jīng）密（mì）加工技術也（yě）得到了飛速發展，具有複雜麵型（xíng）的微（wēi）結構元（yuán）件被廣泛地應用於軍事、高科技裝備、光纖通（tōng）訊等諸多領（lǐng）域。這類元件結構複（fù）雜，並（bìng）且加工精度要求很高，用傳統的加工方法（fǎ）已很難滿足加工需求。隨著技術的不斷進步，湧現（xiàn）出很多種超精密加工方法（fǎ），能（néng）夠加工（gōng）出滿足需求的微結構表麵，如光刻蝕（shí）加工、微細磨（mó）削加工、激光加（jiā）工、快刀（dāo）伺服等（děng）。這（zhè）些方法都有各自的優缺點，其中快刀伺服是比較經典的（de）超精密加工（gōng）技術，是微結構車削（xuē）加工研究的（de）熱點之一。
快刀伺服加（jiā）工是指在車削加工（gōng）過程中，借（jiè）助與安裝在Z軸上（shàng）的快刀伺服微進給（gěi）機構驅動刀具作高頻響、小幅值的軸向（xiàng）快速進給運動，並與高精度的回軸和（hé）徑向進給相配（pèi）合，完（wán）成（chéng）這個（gè）車削加工過程。與Z軸一般幾十赫茲的進刀頻率相比（bǐ），快刀伺服微進給機構的進刀頻率可以達到幾千赫茲甚至更高，從而大大提高了加工效率。
與其它超精密加工（gōng）方式相比，快刀（dāo）伺服車削（xuē）加工（gōng）技術具有高頻響、高效率的特點，一次加工就能夠得（dé）到高麵（miàn）型精度的複（fù）雜微（wēi）結構表麵，適用於光學元件（jiàn）等微結構元件的（de）高效優質加（jiā）工。
快刀伺服車削加工要求高頻響、高精度的微進給，目前微（wēi）進給機構的驅動（dòng）方式主要以壓電陶瓷驅動。壓電陶（táo）瓷驅動的快刀（dāo）伺服具有響應速（sù）度快、加（jiā）速度高、頻響範圍寬、易於控製等諸多優點。
快刀（dāo）伺服（fú）微進給機構是快刀（dāo）伺服加工係統中非常重要的部件，作為（wéi）高速高（gāo）精度位移輸出機構，其（qí）性（xìng）能的好（hǎo）壞對快刀伺服加工的微結構（gòu）表麵質量有直接影響。芯明（míng）天科技設計研發（fā）的P92、P93係列壓電快速刀具定位器，具有（yǒu）承載（zǎi）力大（dà）、響應速度快、頻率範圍寬、納米級（jí）精（jīng）度的優點，是快刀（dāo）伺服的首選產品。
芯明天壓電快刀定位器
芯明天具有近20種專為快刀伺服微加（jiā）工（gōng）而設（shè）計的快速刀具（jù）定位台，它們有著位移、頻率、閉環方式、出力、驅動電壓、外觀結構等性能的差別。
在（zài）位移參數上，由（yóu）十幾微米到（dào）百微米（mǐ）以上的行程範圍，不同的位移下工作頻率（lǜ）也不同。
例如，芯明天P92.X20S快速刀具（jù）定位台，在18μm行程下，工作頻率可達95Hz；在9μm行程下，工作頻率可達190Hz；而在1μm行程下，工作頻率達600Hz。
芯明天壓電快速（sù）刀具定位台有多種閉環方式可選，如電容式（shì）、電感式、應變式閉環，也可采用外部（bù）閉環的控製方式。閉環方式的不同影響著快速刀具（jù）定（dìng）位台的（de）控製精度、工（gōng）作頻率及成本等（děng）因素。
P92.X20係列快速刀具定位台
行程：18μm
驅（qū）動電壓（yā）：0~150V
承（chéng）載能力：300g
閉環方式可選
P92.X25係（xì）列快速（sù）刀具定位台
行程：23μm
空載諧頻頻率（lǜ）：3000Hz
出力：1000N
閉環（huán）方式可（kě）選
P92.X40係（xì）列快速刀具定位台
行程：40μm
驅動電壓：0~1000V
出力：3000N
定製散熱孔
P92.X70係列快速刀具（jù）定位（wèi）台
行程：75μm
定位精度：0.01%F.S.
定製防塵（chén）防液滴型（xíng）
閉環方式可選（xuǎn）
P93.X70係列快速刀具定位（wèi）台
行程：81μm
承載能力：20kg
分辨率：達3nm
閉環方式可選
芯明天快速刀具定位台應用案例
導光板加（jiā）工；
光學元件車削加工；
P93快刀台與手調台結合超精密加工；
定（dìng）製散熱裝置的快速刀具定位台。
