網上閑逛,發現個和張老師當年所學非常接近的內容,昨夜(yè)思考(kǎo)橢圓振動切削的原(yuán)理都失眠了,轉載過(guò)來,希望有識之士解釋一(yī)下:
如何能在道具橢圓振動之下加工出鏡麵呢?這個橢圓振動相對於被加工工件來說是怎樣的運動?
研究內容:
一,通過橢圓振動切削進行超精密、微細加工
專家們(men)設計了稱為橢圓振動切削的獨創性的加(jiā)工方法,並進行了以實用化為目的的研究開發。
該方法通過使刀具刀尖一(yī)邊橢圓振動一邊進行加(jiā)工(gōng)。由於一邊斷續地拉起切屑一邊(biān)進行切削,因此與通(tōng)常(cháng)切(qiē)削相比剪切角變大,能(néng)夠減小切(qiē)削力、切削能量、切削熱。
另外,在通常切削中,由於急劇工具磨損(sǔn)或被切削材料的脆性破(pò)壞,不可能實施的淬火鋼或玻璃(lí)的(de)鏡麵加工,也可以用(yòng)該方法實現。
該校目前,正在進行與該切削工藝解析、測量相關的基(jī)礎研究、對單晶材(cái)料、燒結(jié)材料等各種難切削材(cái)料的應用(yòng)、微/納米級的功能性表麵的(de)高效超精密加工等的研究。
楕円振動切(qiē)削を利用した磨(mó)きレス鏡麵加工(gōng)

二,利用橢圓振動切削的無磨(mó)鏡麵加工
在橢圓(yuán)振動(dòng)切削加工中,對於淬火後的模具鋼,可以實現鏡麵水平的表麵粗糙度。因此,將本(běn)方(fāng)法用(yòng)於模具加工時,不需要使形狀精度劣化的研磨工序(無研磨)。
在以往的2自由度振子和控製係統中,由於振動工具和被切削材料的幹(gàn)涉等,加(jiā)工形狀受到限製。
正在開發使用自由曲(qǔ)麵的鏡麵加工技術被期待作為實(shí)現(xiàn)模具(jù)鋼的無拋光鏡麵加工的下一代(dài)製(zhì)造技術。

三,CMP工藝建模(mó)與高精度分析模型開發
作為半導體製造工(gōng)藝(yì)之一,為了(le)使(shǐ)晶片表麵產生的凹凸(tū)平(píng)坦化(huà),利用了被稱為CMP(Chemical Mechanical Polishing)的研磨技術。
它在(zài)集成度(dù)高(gāo)的產品的製造中是必須的技(jì)術,以提高研(yán)磨率控製性和劃痕抑製等性能。
利用ALE有限元法開發了高精度的研(yán)磨過程分析模型(xíng),在(zài)此基礎上(shàng)開發了能夠高精度推定以往(wǎng)技術中困難的材料特(tè)性等各種條件對研磨過程的影響的(de)解析方(fāng)法。
並且(qiě),正在研究研(yán)磨率(lǜ)分布的控製技術和(hé)新的過程監控技術。

四,具有三維微結構的高(gāo)效率微混合器(qì)的(de)開發

近年來,在一個小型芯片(piàn)上進行流體的混合、提取、分析等(děng)的係統(μ-TAS)的研究正在進(jìn)行。
但是,在形成於此(cǐ)的(de)微流(liú)道中(zhōng),由(yóu)於尺(chǐ)寸微小,成(chéng)為雷諾數的小層流,流體難以混合是難題。
因此,雖然(rán)進行了很多微型混合器的研究,但由於以往主要利用半導體工藝,因此存在(zài)其形狀受限、混合效(xiào)率差、製(zhì)造困(kùn)難等問題(tí)。
在本研究方(fāng)案中,設計了通過機械加工製作模具,通過一次轉印成形可以批量生產獨立的高效率(lǜ)切向轉換型微型混合器,並正在(zài)嚐試開發兼顧低成(chéng)本和(hé)高效率混合的微型(xíng)混(hún)合器。
