大（dà）矢高微透鏡陣列加工方法，超精密微透鏡陣（zhèn）列切削加工
　　超精密（mì）微透鏡切削加工（gōng）工（gōng）藝是微透（tòu）鏡（jìng）陣列加工的一種技術，接近於微透鏡陣列光學冷加工。主（zhǔ）要用於大矢高微透鏡陣列，大數值（zhí）孔徑微透鏡（jìng）陣列，大角度微透鏡陣列的加工製造。區別於光（guāng）刻膠熱熔法，台階刻（kè）蝕（shí）法（fǎ）和激光直（zhí）寫法等技術，微透鏡超（chāo）精密切削（xuē）加工技術能夠加工（gōng）更精細的光學器件，加工得到（dào）的微透鏡麵形精度和表麵質量高，自由曲麵微結構加工可行性得到保（bǎo）證。用微透鏡超精密切削加工技術我司能做到的微透（tòu）鏡陣列矢高範圍為250nm-4mm，子單元口徑80μm-30mm，麵形誤差和ROC誤差為±0.5%，表麵粗糙度局部能夠達到2-5nm，鏡片尺寸誤差達到±0.1mm。由此可見微透鏡超精（jīng）密切削加（jiā）工的精度優勢。許多大矢高的快慢軸準直鏡便是用這種工藝製造的。圖片
　　目前超精密微透鏡切削加工工藝主（zhǔ）要（yào）有三種，微銑刀銑（xǐ）削加工，慢刀進給伺服車削加工（STS）以及快刀伺服進給（gěi）車（chē）削（xuē）加工（FTS）。微銑刀銑（xǐ）削加工常使用多軸超精密銑床，采（cǎi）用球頭微銑（xǐ）刀（dāo）保證加工（gōng）質量。STS加工及FTS加工常（cháng）用刀具為單點金剛石刀具。不（bú）同在於STS是利用C,X,Z三軸聯動帶動刀具在工件圓柱坐標係內完成空（kōng）間三維軌跡的創成運（yùn）動；FTS車削加工通過設計高頻（pín）響、高精度的刀具驅動裝置，在主軸角度及X軸導軌反饋的基礎上，控製刀具在主軸（zhóu）方向上實時跟蹤工件（jiàn）麵形的（de）變化。用微透鏡陣列超精密（mì）切削加工切削技術暨微透鏡陣列光學冷加工技術加工出來的大矢高微透鏡陣列，大數值孔徑微透鏡陣列和大角度微透鏡陣列可（kě）以統稱為刀具法微透鏡（jìng）陣列。圖片（piàn）平麵刀具法（fǎ）微（wēi）透鏡陣列光學冷加工的工藝（yì）過程（chéng）：（1）將工件定位及裝夾，選用聚晶金剛石刀具並快速對刀；（2）用聚晶金剛石（shí）刀具加工（gōng）基麵；（3）用聚晶金剛石刀具初步微透鏡陣列加工（gōng），加工出工件形狀（zhuàng）；（4）選用單晶金剛石刀具快速對刀後（hòu）進行精加工，采用較低進給量率微量切削（xuē），得到良好的表麵質量。
　　而曲麵（miàn）刀具法微透鏡陣列光學（xué）冷加工的加工規（guī）劃除第二步是用聚晶（jīng）刀加工（gōng）基（jī）曲麵外，其他均與（yǔ）平麵刀（dāo）具法（fǎ）微透鏡陣列光學冷加工工藝規劃相似。圖片以上便是微透鏡陣列光（guāng）學（xué）冷加工技術，超（chāo）精密微透鏡切削加（jiā）工工藝的簡（jiǎn）介。我司新（xīn）產品MLA1刀具法微透鏡（jìng）陣列所應用的就是微透鏡超精密切削加工技術，以此來製造（zào）的（de）大矢高微（wēi）透鏡陣列，大角度微（wēi）透鏡陣列，大數值孔徑微透鏡陣列的麵（miàn）形精度和麵形質量極高。歡迎（yíng）您谘詢了解。參考文獻：[1]徐禮威.微透鏡陣列超精密切（qiē）削（xuē）加工技術研究[D].哈爾濱工業（yè）大學,2015.
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